| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000股 | 20.6394% | 2024-09-30 |
| 2 | 上海国盛(集团)有限公司 | 546000000股 | 19.8749% | 2024-09-30 |
| 3 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 134561445股 | 4.8982% | 2024-09-30 |
| 4 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 128929865股 | 4.6932% | 2024-09-30 |
| 5 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 124869310股 | 4.5454% | 2024-09-30 |
| 6 | 上海新微科技集团有限公司 | 117152572股 | 4.2645% | 2024-09-30 |
| 7 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 77895268股 | 2.8355% | 2024-09-30 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 76218839股 | 2.7744% | 2024-09-30 |
| 9 | 华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 2.6213% | 2024-09-30 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 56133748股 | 2.0433% | 2024-09-30 |
| 11 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000股 | 20.6394% | 2024-06-30 |
| 12 | 上海国盛(集团)有限公司 | 546000000股 | 19.8749% | 2024-06-30 |
| 13 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 134722145股 | 4.904% | 2024-06-30 |
| 14 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 125522357股 | 4.5691% | 2024-06-30 |
| 15 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 123351810股 | 4.4901% | 2024-06-30 |
| 16 | 上海新微科技集团有限公司 | 117152572股 | 4.2645% | 2024-06-30 |
| 17 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 82959406股 | 3.0198% | 2024-06-30 |
| 18 | 华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 2.6213% | 2024-06-30 |
| 19 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 61206513股 | 2.228% | 2024-06-30 |
| 20 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 56133748股 | 2.0433% | 2024-06-30 |
| 21 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000股 | 20.843% | 2024-03-31 |
| 22 | 上海国盛(集团)有限公司 | 546000000股 | 20.071% | 2024-03-31 |
| 23 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 134722145股 | 4.952% | 2024-03-31 |
| 24 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 124869310股 | 4.59% | 2024-03-31 |
| 25 | 上海新微科技集团有限公司 | 117152572股 | 4.307% | 2024-03-31 |
| 26 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 112520913股 | 4.136% | 2024-03-31 |
| 27 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 82959406股 | 3.05% | 2024-03-31 |
| 28 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 2.647% | 2024-03-31 |
| 29 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 59160124股 | 2.175% | 2024-03-31 |
| 30 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 56133748股 | 2.064% | 2024-03-31 |
| 31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000股 | 20.843% | 2023-12-31 |
| 32 | 上海国盛(集团)有限公司 | 546000000股 | 20.071% | 2023-12-31 |
| 33 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 134722145股 | 4.952% | 2023-12-31 |
| 34 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 126435178股 | 4.648% | 2023-12-31 |
| 35 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 123199310股 | 4.529% | 2023-12-31 |
| 36 | 上海新微科技集团有限公司 | 117152572股 | 4.307% | 2023-12-31 |
| 37 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 82959406股 | 3.05% | 2023-12-31 |
| 38 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 2.647% | 2023-12-31 |
| 39 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 56133748股 | 2.064% | 2023-12-31 |
| 40 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 46329060股 | 1.703% | 2023-12-31 |
| 41 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000股 | 20.843% | 2023-09-30 |
| 42 | 上海国盛(集团)有限公司 | 546000000股 | 20.071% | 2023-09-30 |
| 43 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 144800345股 | 5.323% | 2023-09-30 |
| 44 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 126961745股 | 4.667% | 2023-09-30 |
| 45 | 上海新微科技集团有限公司 | 119820558股 | 4.405% | 2023-09-30 |
| 46 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 104691310股 | 3.849% | 2023-09-30 |
| 47 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 82959406股 | 3.05% | 2023-09-30 |
| 48 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 2.647% | 2023-09-30 |
| 49 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 53754882股 | 1.976% | 2023-09-30 |
| 50 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 44618004股 | 1.64% | 2023-09-30 |
| 51 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000股 | 20.843% | 2023-06-30 |
| 52 | 上海国盛(集团)有限公司 | 546000000股 | 20.071% | 2023-06-30 |
| 53 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 151517100股 | 5.57% | 2023-06-30 |
| 54 | 上海新微科技集团有限公司 | 124791743股 | 4.587% | 2023-06-30 |
| 55 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 104521510股 | 3.842% | 2023-06-30 |
| 56 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 87761802股 | 3.226% | 2023-06-30 |
| 57 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 83696144股 | 3.077% | 2023-06-30 |
| 58 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 2.647% | 2023-06-30 |
| 59 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 59298268股 | 2.18% | 2023-06-30 |
| 60 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 59000000股 | 2.169% | 2023-06-30 |
| 61 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 156581814股 | 9.871% | 2023-03-31 |
| 62 | 上海新微科技集团有限公司 | 134857256股 | 8.501% | 2023-03-31 |
| 63 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 123422900股 | 7.781% | 2023-03-31 |
| 64 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 123175310股 | 7.765% | 2023-03-31 |
| 65 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 75000000股 | 4.728% | 2023-03-31 |
| 66 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 4.54% | 2023-03-31 |
| 67 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 59456151股 | 3.748% | 2023-03-31 |
| 68 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 59298268股 | 3.738% | 2023-03-31 |
| 69 | 上海盛石资本管理有限公司－台州中硅股权投资合伙企业(有限合伙) | 33193175股 | 2.092% | 2023-03-31 |
| 70 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 30212767股 | 1.905% | 2023-03-31 |
| 71 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 158373295股 | 9.984% | 2022-12-31 |
| 72 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 137800000股 | 8.687% | 2022-12-31 |
| 73 | 上海新微科技集团有限公司 | 136582856股 | 8.61% | 2022-12-31 |
| 74 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 108126410股 | 6.816% | 2022-12-31 |
| 75 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 72900000股 | 4.596% | 2022-12-31 |
| 76 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 4.54% | 2022-12-31 |
| 77 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 60088869股 | 3.788% | 2022-12-31 |
| 78 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 59298268股 | 3.738% | 2022-12-31 |
| 79 | 上海盛石资本管理有限公司－台州中硅股权投资合伙企业(有限合伙) | 39078252股 | 2.463% | 2022-12-31 |
| 80 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 29913090股 | 1.886% | 2022-12-31 |
| 81 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 158675295股 | 9.932% | 2022-09-30 |
| 82 | 上海新微科技集团有限公司 | 144109000股 | 9.02% | 2022-09-30 |
| 83 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 140000000股 | 8.763% | 2022-09-30 |
| 84 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 105996010股 | 6.634% | 2022-09-30 |
| 85 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 72528630股 | 4.54% | 2022-09-30 |
| 86 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521股 | 4.507% | 2022-09-30 |
| 87 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 60906427股 | 3.812% | 2022-09-30 |
| 88 | 上海盛石资本管理有限公司－台州中硅股权投资合伙企业(有限合伙) | 39078252股 | 2.446% | 2022-09-30 |
| 89 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 37540650股 | 2.35% | 2022-09-30 |
| 90 | 香港中央结算有限公司 | 28425877股 | 1.779% | 2022-09-30 |
| 91 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 147986295股 | 10.992% | 2022-06-30 |
| 92 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 140400000股 | 10.429% | 2022-06-30 |
| 93 | 上海新微科技集团有限公司 | 129510000股 | 9.62% | 2022-06-30 |
| 94 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 120785248股 | 8.972% | 2022-06-30 |
| 95 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 61208567股 | 4.547% | 2022-06-30 |
| 96 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 48270609股 | 3.586% | 2022-06-30 |
| 97 | 香港中央结算有限公司 | 29437400股 | 2.187% | 2022-06-30 |
| 98 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 27158502股 | 2.017% | 2022-06-30 |
| 99 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 26677590股 | 1.982% | 2022-06-30 |
| 100 | 建声实业有限公司 | 17452800股 | 1.296% | 2022-06-30 |
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